西克：半导体加工行业应用案例分享

　　纵观半导体设备的发展历史，不难发现半导体设备紧随全球芯片制造中心而不断东移：从70-80年代的美国，到80-90年代的日本，再到90年代后期的中国台湾与韩国。

　　随着中国高端制造技术的不断发展，与本身庞大的市场需求相互帮衬，未来十年，中国有望成为半导体芯片制造的全球中心。

　　目前，在国家重大科技专项的支持下，集成电路主要工艺设备如PVD、PECVD、CMP、介质刻蚀机、CMP等技术均有显著提升。而IC晶圆生产线的设备国产化率也在不断提高。设备技术的提升也拉高了对光学传感器性能的需求。除了对精度、稳定性等性能要达到极高的标准外，传感器也被要求实现更多的检测任务。

　　作为有着超过75年历史的工业传感器领先生产厂商，SICK具有深厚的技术积累，丰富的产品种类，可以为半导体设备厂商提供更多样的产品、更优异的性能以及更专业的服务。

1、硅板厚度测量

　　产品系列：OD5000位移测量传感器

　　订货号：6063621

　　客户应用:

　　太阳能硅片分选机，客户需求在皮带输送线上检测硅片的厚度，精度要求为2um

　　采用2*OD5000-C30T05上下组合方式，来测量硅片的厚度

　　客户利用上位机接受数据做算法处理，判定硅片的规格

　　客户受益：

　　双头侧厚，通过以太网接口和集成在传感器内部评价单元，无需额外控制器计算

　　高达80kHZ测量频率，准确测量微小变化

　　激光定位更加柔性，可视觉，产品定位精度更高

　　实时在线测量，相对于线激光方案，节省成本，精度更高

2、石英载具到位检测

　　产品系列：WTF12G

　　订货号：1065719

　　客户应用：

　　石英载具装载硅片进行热处理、涂层等一系列工艺流程。

　　需要对半透明石英载具进行稳定到位检测，由于热处理中温度较高，无法安装反射板，只能选择漫反射。

　　检测距离较远，无法使用V镜头光电传感器。

　　客户受益：

　　WTF12G是漫反射前景抑制型原理，无需反射板，只需对背景进行示教即可

　　可以稳定地检测透明、半透明等物体

　　检测距离可达700mm

3、硅片检测：

　　产品系列：G2F，WTV4FE

　　WTV4FE订货号：1105444

　　GTB2F订货号：1093737

　　客户应用：

　　检测硅片的到位与有无，硅片表面光学性能特殊，普通漫反射光电很难稳定检测

　　安装空间十分有限，需要迷你型尺寸光电

　　无法安装镜反射与对射型光电

　　客户受益：

　　G2F扁平型外观设计，可以安装在狭小的空间中

　　独特的V型镜头设计，可稳定检测高反光、透明薄膜，深黑色吸光平面。

　　WTV4FE可进行旋按式示教，V镜头检测距离增加至50mm

　　产品系列：WTT4SLC

　　订货号：1097190

　　应用需求要点：

　　检测距离400-500mm

　　检测边缘，客户需要光斑尽可能小

　　安装位置有限制，只能接受漫反射光电

　　客户受益：

　　WTT4SLC时间飞行原理，可稳定从倾斜角度或侧面检测带有弧度的物体，并且不受物体表面颜色和材质的影响

　　具有优异的背景抑制性能，可稳定屏蔽背景干扰

　　漫反射检测，最远可达到1.3m检测距离

　　光斑聚拢，4mm(1m)，可以从侧面检测薄片边缘

4、Roller(输送轮)粗糙度区分：

　　产品系列：Glare系列光泽度传感器

　　应用需求要点：

　　现场面板传输设备运输基板一段时间后，基板与Roller摩擦导致Roller表面光滑，失去输送力。

　　不同摩擦情况不同导致基板受力不均匀，造成良率下降，稼动率降低，客户使用Glare光泽度传感器对Roller表面粗糙程度进行检测。

　　客户受益：

　　原本客户解决方法为工作人员定期停机检查，使用自制比对卡进行人眼对比观察。

　　使用Glare光泽传感器后客户受益如下：

　　降低检测误差

　　减少检查时间

　　节省人力资源